第一卷 第219章 你拿什么保证,行政不干预?(3 / 4)

宋岳盯着他,停了整整五秒,把旁边另一叠文件拿过来,搁在桌上,没解释是什么。

陈平放扫了眼封面,是国内某研究院的项目公示,盖着三枚章。

宋岳翻开,指着里面一页数据。

“这是你们国内去年的光刻胶测试报告,浸没式工艺,193纳米,良率百分之七十一。”

他把手指往下移了一截。

“我们手上的配方,浸没式良率可以做到九十二以上。”

“但EUV的问题,你们还没解决。”

会议室里的几个人都看向陈平放。

EUV极紫外光刻,是最先进制程绕不过去的一道坎。宋岳把文件合上,两只手压在封面上,等着他给一个解释。

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陈平放没着急。

他把公文包侧兜拉开,取出一个密封的U盘,搁在桌上往宋岳面前推过去。

“这是国内最新一批EUV光源测试数据,还没有公开发布。”

“你看完,再来跟我谈浸没式的问题。”

宋岳没马上接,先打量了U盘一眼,再抬头看陈平放,两秒后把U盘捏在手里,转头递给那个女研究员。

女研究员插进笔记本,页面弹出来,是一组密密麻麻的参数图表,有峰值曲线,波长校准,稳定性测试,另外还有一份完整的阶段报告。

会议室里几个人的注意力全都集中了过来。

宋岳站起来,走到女研究员旁边,低头翻了两页,停在第三页,手指在屏幕上比了一串数字。

旁边另一个研究员凑过来,盯着看了几秒,用德语说了句什么,宋岳没转头,用英文回了一句,陈平放没听清内容,只看见那个研究员直起腰,脸上的表情有些绷紧。

宋岳重新坐回去,把U盘拔下来,放回桌上。

他两手交叠,盯着桌面,沉默了将近两分钟。

外头的雨更大了,顺着窗沿往下流,在玻璃上划出弯曲的水痕。

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“协议我可以看。”

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