陈平放在脑子里把这件事过了一遍,心里对这个情况有些担心,但没有立刻表态,只是转向了陆渊。
“你刚才说第十七组参数,跑出什么结果了?”
陆渊翻开记录本,用手指指向最后两页。
“这一组的光源脉冲频率,稳定在了13.5纳米这个数值,持续了七十二小时都没有出现衰减,而且出现了一个之前从来没有出现过的现象。”
陆渊把记录本往前推了推,手指落在一组标了红圈的数据上面。
“功率转换率,比原来设计的理论峰值,高出了整整21%。”
这句话说完,蒋帆轻轻地呼出了一口气,看起来他自己也是刚刚才确认的,时间不长。
陈平放把那一页数据从头到尾看了一遍,没有说话。
21%。
不是优化,是量级的跨越。
意味着逐光一号在光刻机的实际应用场景里,能比市面上任何国产方案都更接近商业化量产的门槛。
“这套数据,是在什么条件下跑出来的?”
“光源腔体换了一批新的锡靶,配合我们自研的磁场约束模块。”陆渊回答得很快,“外部没有办法单纯靠硬件仿制来复现,核心参数是在我们自己的控制软件上调出来的。”
陈平放把记录本还给陆渊,转过身。
“好,这个结果,今天之前,有没有跟任何外部人员提过只言片语?”
陆渊愣了一下,思路往回拉了一拉。
“……有一次,上周三,我在园区食堂,旁边坐的是对外合作部的林工。”
“他问了什么?”
“就是随口问最近进展怎么样,我说在跑新的光源参数,说到了锡靶。”
就这一句。
锡靶。