第981章 14nm和N+1(3 / 4)

“砰!”罗朝斌忍不住拍了下桌子,想骂一个马勒戈壁的。

但脸上怒容一闪而逝,最终化为沉重的叹息。

“所以,”孟良凡双手撑在桌面上,语气充满了不甘却又无比坚定,“我们只能,也必须,在现有的duv光刻机上,进行极限操作,走一条无比艰难、但充满智慧的‘迂回之路’!这就是n+1、n+2!”

他开始深入解释n+1工艺的本质和巨大挑战:

“n+1,本质上是在我们14nmfinfet工艺平台上,通过一系列登峰造极的‘技术魔术’去无限逼近更高制程的性能。当然这里面的核心就是多重曝光。”

他用了一个形象的比喻:

“这就好比,别人开着装备了顶级gps和引擎的越野车(euv)在平坦大道上飞驰。

而我们,被没收了关键装备,只能开着一辆性能不错的家用轿车(duv)。

但我们凭借对地图的极致研究(物理和工艺理解)和超凡的驾驶技术(多重曝光等复杂工艺),硬是要在一条布满巨石和深坑的崎岖山路上,蹚出一条能到达目的地的通道。”

“代价是什么?”孟良凡自问自答,语气沉重。

“代价是工艺步骤复杂度成倍增加,生产周期大幅拉长,初始良率惨不忍睹,以及单个芯片成本的急剧飙升!

代价是在冯总和陈总不遗余力的配合下,今年3三月把良品率才很勉强得提高到了68%,目前还在艰难爬坡中!

这是一种‘笨’办法,一种‘苦’办法!

但,这是我们唯一能掌握能通向自主高端的生命线!”

他看向汪剑锋,又看向陈默:

“所以,汪总,您问最大的挑战和需要什么支持?

挑战在于,我们需要在工艺、设计、工具链三个维度,同时进行极限突破,容不得任何一块短板!

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